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发布时间:2022-08-23 09:54人气:

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本创制触及用于半导体器件耗费中的电子束或离子束暴光等带电束暴光,特别是对于具有好别单元孔径的带电束暴光掩模,每个单元孔径皆典范天与一散成电路芯片的反复单元图形尽对应

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